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硅片厚度傳感器（SIT-200）

硅片厚度傳感器（SIT-200）

簡要描述：硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高，從而產生更高的動態(tài)范圍。

產品型號：

所屬分類：光電常用設備

更新時間：2024-12-16

詳細說明：

      硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高，從而產生更高的動態(tài)范圍。結果，例如在濕蝕刻期間/之后，甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測量。

      硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：

      一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
      二、能夠測量無序表面的高動態(tài)范圍
      三、能夠在濕法腐蝕過程中進行原位測量
      在生活中其常常應用于硅片厚度測量

    硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：

      一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
      二、能夠測量無序表面的高動態(tài)范圍
      三、能夠在濕法腐蝕過程中進行原位測量


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